यात्रा दायरा
20mm
संकल्प
०.१२५ माइक्रोन
पुनरावृत्ति
म1μm
सीधापन
म2μm
समानान्तरता
म5μm
पिचिङ
10″(50μrad)
हाईिङ
अधिकतम गति
५ मिमी/सेकेन्ड
लोड क्षमता
10 किलो
वजन
1.5 किलो